原料空气经空气压缩、净化，进入精细过滤器,经过螺旋、凝集、表面三级过滤除掉大多数液态水和油污，然后进入冷冻式干燥机，由冷媒压缩机制冷体系将压缩空气的压力露点降至2～3℃，除掉很多的水分，之后进入超精过滤器，进一步除掉压缩空气中含有的固体颗粒，使压缩空气质量到达0.01μm，接着进入一台活性碳罐,除掉大多数的油类、烃类等，由此经过空气缓冲罐进入两个填装有吸附剂的变压吸附别离体系，即NGN-110D型制氮机组。洁净的压缩空气由吸附塔底端进入，气流经空气扩散器扩散今后，均匀进入吸附塔，进行氧氮吸附别离，然后从出口端流出氮气，进入氮气缓冲罐，这一产氮进程约1分钟，之后经均压和减压（至常压），脱除所吸附的杂质组分（主要为氧气），完结吸附剂的再生。两个吸附塔交替循环操作，接连送入质料空气，接连生产纯度≥99.9%；产值≥110Nm3/h；压力0.6 MPa（可调）；露点≤-40℃的氮气。

从制氮机出来的氮气，经热交换器和加热器加热到必定温度今后，进入填充碳催化剂的脱氧器，碳和氮气中的余氧反响生成二氧化碳和微量的水，再进入高效冷却器降到常温，再经过填充了分子筛的吸干机除掉二氧化碳和水分，最终经过高纯氮气缓冲罐，精细过滤器得到高纯度氮气，氮气纯度≥99.999%；产值为≥100Nm3/h；出口温度≤40℃，压力0.5 MPa（可调）氮气常压露点-70℃。